更新時間：2022-05-31
水中臭氧分析儀470是zuix進的溶解臭氧測量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預(yù)備清潔"， 能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可 簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路 中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達到 了wu與倫比的性能，且擺脫了對參比液體測 量的需求
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測量原理 ：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù)
紫外光源 ：低壓汞燈
測量單位 ：ppmw, mg/L
量程 ：高達150 mg/L (150 ppmw)
精度 ：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為
準(zhǔn)）
水流量 ：高達150 SLPM
采樣端口 ：1", 3/4", 3/8" Flaretek 連接
最大壓強 ：55 PSI
接觸材料 ：特氟龍, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容
外殼 ：聚四氟乙烯特氟隆
尺寸 ：5.69" 寬 x 6.8" 高 x 3.2" 長 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
維護 ：紫外燈每24個月替換一次 無其他預(yù)定維護
電纜 ：特氟龍外層
電源 ：+15 VDC
認(rèn)證 ：CE 認(rèn)證
模擬輸出 ：4到20mA或0到5VDC，出廠時選擇
數(shù)字 I/O ：RS-232 或 RS485，出廠時選擇
遠(yuǎn)程校零 ：通過DB15進行遠(yuǎn)程零點校準(zhǔn)
現(xiàn)場檢測
在線且全流量監(jiān)測
直線通過的流型
無移動部件
無消耗品
測量范圍最高達150 mg/L
遠(yuǎn)程零點校準(zhǔn)
高精度紫外吸收法
雙光道采樣感應(yīng)技術(shù)
不需求日常維護
半導(dǎo)體級別濕式材料
緊湊的特氟龍外殼
特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜
應(yīng)用
液態(tài)溶解臭氧
半導(dǎo)體濕法清洗系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
制藥業(yè)
水處理
其他工業(yè)過程
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